氬氣回收、液化設(shè)備

　　本裝置是針對(duì)用戶(hù)生產(chǎn)過(guò)程中使用后的廢氬氣進(jìn)行設(shè)計(jì)、研發(fā)，從而實(shí)現(xiàn)廢氬氣在整套裝置中進(jìn)行回收、凈化、提純、液化。

　　整套裝置首先對(duì)廢氬氣進(jìn)行輸送、收集，然后通過(guò)壓縮及緩沖系統(tǒng)使其具備一定的穩(wěn)定壓力，然后進(jìn)入催化、凈化系統(tǒng)脫除廢氬氣中的部分雜質(zhì)（O2、CO2、H2O）；進(jìn)入低溫精餾系統(tǒng)去除廢氬氣中的雜質(zhì)N2，同時(shí)經(jīng)精餾、液化得到產(chǎn)品液氬。